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真空泵有哪些常见类型?

根据不同的技术,我们将真空泵分为八种类型:

油润滑旋片真空泵

旋片技术有助简化真空泵的结构, 循环油润滑、协调一致的材料以及先进精密的制造确保持续运行中的稳定高真空水平。标配的油雾分离箱,具备集成式回油管的精密抽取系统,确保排气清洁、无油。如配备气镇阀(选配),还可处理大量蒸汽。入口法兰的止回阀,可以防止气体在真空泵关闭期间流回真空腔室。

干式爪式真空泵

两个爪形转子在爪式真空泵壳体内以相反的方向转动, 凭借这对转子的形状,吸入、压缩以及排出空气或气体。爪式转子在旋转过程中,既不相互接触,也不与其所处的泵缸接触。爪式转子和机壳之间的紧密间隙,优化了内部密封,保证恒定的高泵速, 同步变速箱确保两个爪形转子精确同步。

干式螺杆真空

干式螺杆真空泵利用两套旋转方向相反的螺杆转子工作, 泵送介质在各爪形转子之间被截留,经压缩后输送至排气口。在压缩过程中,螺杆转子不相互接触,也不与泵缸接触, 这意味着压缩室无需润滑剂或工作液。

罗茨泵

在罗茨泵的外壳内,两个凸轮转子同步旋转。由于转子具有特殊轮廓且采用精密工艺制造,它们不会彼此触碰或触碰到壳体, 这样无需借助任何工作液即可泵送介质。两个凸轮转子由位于齿轮箱轴端,并与压缩腔室分离的一对齿轮副驱动。

干式旋片真空泵

这些真空泵采用成熟的旋片技术, 借助于自润滑旋片,无需使用工作液。压缩过程以干式运行方式进行, 通过各种材料的充分协调、压缩室配备的特殊石墨叶片、有效的排热以及采用的最新精密制造技术,共同保证了连续供应且始终如一的高真空度。

液环真空泵

液环真空泵配备有偏置叶轮, 液环由在泵壳内同心旋转的工作液(通常是水)形成。工艺气体从进气口进入,在叶轮片之间传送并被压缩,之后通过排气口排出,还会伴随一些工作液。液环真空泵既可作为一次通过系统运行,还可作为部分或全循环系统运行。

涡旋真空泵

涡旋真空泵由一个固定涡旋和一个动涡旋构成, 当动涡旋运动时,真空泵入口处会形成真空,吸入气体。通过转子的运动,气体被持续压缩,直到最后被排出。

扩散真空泵

扩散真空泵结构包含一个连接到中央多阶段喷气式配件的燃油锅炉。加热后的油以超音速从喷气式配件中喷射出来,处理气体分子被置入油喷气流,并通过泵体由更重的油分子动量完成转化。该工艺将气体分子从低压入口法兰移向扩散泵的前端真空口,油在此处汇集并返回锅炉,工艺气体分子被前级泵移除。

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